摘要

本文重点讨论了用不同的工艺方法来制备薄膜磁头中的关键元件-磁轭。采用多次光刻的方法克服湿法工艺中磁性膜NiFe层的侧向钻蚀问题,从而实现对磁轭几何尺寸的精确控制,并对几种工艺方法的优缺点作了比较详细的分析。