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Measurement of elastic modulus and residual stress of diamond thin films
作者:Xiang, D H
*
; Chen, M; Ma, Y P; Sun, F H
来源:
Key Engineering Materials
, 2007, 329: 545-550.
DOI:10.4028/0-87849-416-2.545
Bulge tests
Diamond thin films
Hot filament chemical vapor deposition (HFCVD)
Laser interferometry system
出版日期
2007
单位
上海交通大学
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