摘要

系统地介绍了电子背散射花样(EBSP)分析技术的近年进展.阐明了EBSP产生的原理和机制,并对获得EBSP的仪器条件和有关测量分析问题进行了概述.由于这种分析技术具有高的空间分辨率,可以在1μm的微区内进行晶体位向和位向关系分析、结晶相鉴定和晶体应变评定等方面工作,故它是近代材料科学研究中一种有力工具