采用离子束轰击辅助多弧离子镀法,在硬质合金YT15刀片上沉积ZrTiN涂层。研究了沉积过程中不同N2流量对ZrTiN涂层性能的影响,结果表明:当N2流量为140 mL/min时,涂层表面熔滴、缺陷较少,表面平整,粗糙度值最小。在该N2流量下,由于真空室内各种粒子结合率较高,沉积速率适中,涂层生长致密,其硬度和结合力的综合性能最佳,另外当N2流量为120 mL/min时,涂层沉积速率最快达到24.6 nm/min。
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