一种基于流延法的一体化陶瓷均热板结构及其制作方法

摘要

本发明提供一种基于流延法的一体化陶瓷均热板结构，包括均热板、支撑柱以及工质流体：所述均热板包括上板体和下板体，所述上板体和下板体之间设有腔室，所述上板体底面和所述下板体顶面均设有若干槽道，所述上板体和下板体上的所述槽道均并排设置；所述支撑柱表面设有微米或/和纳米级空洞，所述上板体、下板体之间于所述腔室内设有若干所述支撑柱，若干所述支撑柱于所述腔室内均匀分布；所述腔室内封存有所述工质流体。该均热板结构可以解决现有陶瓷均热板均热性能不佳和不方便加工的技术问题。

关键词