SnO_2/p~+-Si异质结器件的电致发光:利用TiO_2盖层提高发光强度

作者：蒋昊天; 杨扬; 汪粲星; 朱辰; 马向阳; 杨德仁

来源：Acta Physica Sinica, 2014, 63(17): 267-271.

• SnO2/p+-Si异质结
• TiO2盖层
• 电致发光 SnO2/p+-Si heterostructure
• TiO2-capped
• electroluminescence

通过在重掺硼硅(p+-Si)衬底上溅射SnO2薄膜并在O2气氛下800℃热处理形成SnO2/p+-Si异质结.基于该异质结的器件可在低电压(电流)驱动下电致发光.进一步地,通过在SnO2薄膜上增加TiO2盖层,使器件的电致发光获得显著增强.这是由于TiO2盖层的引入,一方面使SnO2薄膜更加致密,减少了非辐射复合中心;另一方面TiO2较大的折射率和合适的厚度使SnO2薄膜电致发光的出光效率得到提高.

• 出版日期2014
• 单位硅材料国家重点实验室; 浙江大学