AlN原料的钨网炉高温提纯

作者：刘京明; 刘彤; 杨俊; 陶东言; 段满龙; 董志远; 赵有文; 李百泉

来源：材料科学与工程学报, 2015, 33(04): 601-604.

DOI：10.14136/j.cnki.issn.1673-2812.2015.04.026

• 氮化铝
• 钨网炉
• 杂质
• 提纯

商品氮化铝粉料中含有高浓度的氧、碳及金属杂质,需经过高温提纯处理后才能用于物理气相法氮化铝晶体生长。与感应加热相比,钨网电阻加热可有效避免碳、氧等的二次沾污,势必具有良好的提纯效果。本文采用钨网炉对AlN原料进行高温烧结提纯处理,通过X射线能谱仪(EDS)、气体分析技术(IGA)和辉光放电质谱仪(GDMS)对烧结处理后AlN的杂质含量进行了测试分析,结果表明经钨网炉高温烧结处理后,AlN原料中杂质含量明显降低,其中的氧、碳去除效果显著。还进一步分析了杂质挥发、原料损耗随温度、时间变化的规律。

• 出版日期2015
• 单位中国科学院半导体研究所