阿伏加德罗常数测量中单晶硅密度的绝对测量

作者：罗志勇; 杨丽峰; 顾英姿; 郭立功; 丁京安; 陈朝晖

来源：计量学报, 2008, (03): 211-215.

• 计量学
• 阿伏加德罗常数
• 密度基准
• 五幅算法
• 单晶硅球
• 相移法
• 标准具 Metrology
• Avogadro constant
• Density primary standard
• Five-interferogram algorithm
• Monocrystal silicon sphere
• Phase shift algorithm
• Etalon

基于改进型五幅算法,利用压力扫描原理设计出腔长可变式法-珀标准具和柔性铰链微位移平台,实现了标准具腔长和硅球表面与标准具之间的相移测量,建立了一套技术原理新颖、提高潜力较大的相移法精密测长系统。该测量系统对硅球直径的测量准确度优于3 nm,单晶硅密度的测量不确定度达到1×10-7。

• 出版日期2008
• 单位中国计量科学研究院