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摘要
利用相位调控原理设计了一种基于TiO2材料的具有非周期同心圆环形高折射率差亚波长光栅结构的会聚透镜，可实现大数值孔径、高聚焦效率、高透射率、低损耗特性，同时具有体积小、易集成的优点。采用时域有限差分法对提出的透镜结构进行仿真和分析，工作波长为850 nm时，该透镜透射率为90.5%，焦距约为10.4 μm，焦斑的半高全宽为0.61 μm。通过对仿真得到的数据进行分析，可得数值孔径为0.92，聚焦效率高达91.07%，损耗为0.41 dB，平衡了高数值孔径与高聚焦效率之间的矛盾，可在小器件直径下接近衍射极限实现点会聚效果。
- 出版日期2023
- 单位信息光子学与光通信国家重点实验室; 聊城大学
