DY2001A型电子束曝光机软件系统设计

作者：张今朝; 方光荣

来源：微细加工技术, 2003, (03): 5-8.

• 电子束曝光
• 软件
• 设计 electron beam lithography
• software
• design

DY2001A型电子束曝光机是作为实用化的小型曝光系统而研制的。从设计角度详细阐述了DY2001A型电子束曝光机软件系统的构成,包括数据转换、对准校正套刻、硬件系统控制、曝光控制及数据建立和管理。

• 出版日期2003
• 单位中国科学院电工研究所