一种基于对称式同相放大机构的压电堆栈泵

作者:陈建; 宋涛; 赵家琪; 周伊广; 冯梓涵; 孟凡慈; 陈新宇; 刘阳杰; 高文智; 刘常海; 贺良国; 曾亿山
来源:2021-12-01, 中国, ZL202111450403.2.

摘要

本发明涉及一种基于对称式同相放大机构的压电堆栈泵,属于压电泵技术领域。包括压电驱动机构和双腔隔膜泵;压电驱动机构包括对称式同相放大杆和夹紧固定在其中的压电堆栈;对称式同相放大杆由直梁、一对驱动臂、柔性铰链、固定平板、质量块和通过螺栓固定连接在质量块底部的附加质量块组成;一对固定平板将压电堆栈夹紧固定在一对驱动臂之间;双腔隔膜泵包括两个独立的泵腔和共用的进出口流道,并通过腰形孔和螺栓固定设于压电驱动机构的一对驱动臂之间。本发明采用的对称式同相放大杆,可以有效解决压电堆栈的位移放大机构设计中存在的支撑底座设计困难、振动能量浪费严重的问题。