Au/SiO_2纳米复合膜的形貌及发光特性

作者：杨爱春; 李玉国; 卓博世; 郑学垒; 彭瑞芹

来源：微纳电子技术, 2011, (03): 167-171.

• 金/二氧化硅
• 纳米复合膜
• 溅射
• 光致发光
• 纳米结构 Au/SiO2
• nanocomposite film
• sputtering
• photoluminescence
• nanostructure

采用磁控溅射和退火法在Si(111)衬底上制备Au/SiO2纳米复合薄膜,并在两种实验模式下进行退火处理。模式A:不同的退火温度,退火20min;模式B:退火温度1 000℃,不同的退火时间。用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射方法(XRD)和光致发光(PL)等测试手段对退火后的Au/SiO2纳米复合薄膜的表面形貌、微观结构和发光特性进行了分析。SEM结果表明,在模式A情况下,随着温度的增加,Au纳米颗粒的大小先增加后减小,这与XRD测试结果相吻合。PL结果表明,在模式B情况下,随着退火时间的增加,发光峰强度先增加后减小。在325nm波长下激发,440nm的发光峰与Au颗粒的大小和数量有关,...

• 出版日期2011
• 单位山东师范大学