微构件的弹性系数影响微型传感器的静态和动态力学特性，为了精确的测试和评定微构件的力学特性，利用纳米硬度计通过微悬臂梁的弯曲试验来测量其力学特性。运用该方法可精确测量微悬臂梁纳米级弯曲变形，在研究微悬臂梁的纯弯曲变形过程中，必须考虑压头在微悬臂梁上的压入以及微悬臂沿宽度方向的挠曲。试验研究表明，多晶硅微悬臂梁的纯挠曲与载荷成很好的线性关系，通过线性关系计算得到梁的弹性模量为[1±(2.9%～6.3%)]×156GPa。
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