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Atmospheric plasma etching of polymers: A palette of applications in cleaning/ashing, pattern formation, nanotexturing and superhydrophobic surface fabrication
作者:Dimitrakellis P; Gogolides E
来源:
Microelectronic Engineering
, 2018, 194: 109-115.
DOI:10.1016/j.mee.2018.03.017
出版日期
2018-7-5
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