在微电子技术高速发展的大潮中,MEMS(Microelectro-mechanical systems)传感器也得到广泛应用。首先,文章简单介绍MEMS传感器的概念、特点、典型代表。其次,举例阐述其在国内外的最新研究进展、产品及应用情况,包括基本原理、实现功能的先进性。最后,从无源化、材料多样化、微型化等方面对MEMS传感器的发展方向进行展望。
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