Au/SiO_2纳米复合薄膜的结构表征及光致发光特性

作者：李玉国; 郑学垒; 彭瑞芹; 翟冠楠; 张晓森

来源：半导体光电, 2012, (01): 45-48.

• Au/SiO2
• 纳米复合薄膜
• 磁控溅射
• 光致发光 Au/SiO2
• nanocomposite film
• radio frequency sputtering
• photoluminescence

采用磁控溅射和退火技术制备出Au/SiO2纳米复合薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM),X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对上述纳米复合薄膜进行了结构表征。实验结果表明,纳米复合薄膜的表面上均匀分布着直径在100～300nm的金纳米颗粒。金纳米颗粒的大小随着退火时间的增加而增大。用荧光光谱仪(PL)对薄膜的光致发光特性进行了研究。结果表明,在激发波长为325nm时,分别在525nm和560nm处出现两个发光峰;在激发波长为250nm时,在325nm处出现发光峰,这一发光峰可能与非晶SiO2的结构缺陷有关。

• 出版日期2012
• 单位山东师范大学