(Ti,Al)N/Ti_2AlN涂层的制备

作者：董瑜亮; 闫旭波; 赵升升; 宫骏; 孙超

来源：金属学报, 2010, (06): 743-747.

• 电弧离子镀
• Ti_2AlN涂层
• 高温退火
• 摩擦系数 arc ion plating
• Ti_2AlN coating
• high temperature annealing
• friction coefficient

利用电弧离子镀技术在不锈钢基体上沉积了Ti-Al-N涂层,研究了沉积工艺参数对沉积态涂层的成分及相组成的影响,以及在不同退火处理条件下各涂层组织的变化.XRD结果表明,通过改变沉积工艺参数可以控制沉积态涂层的成分,使涂层经退火后生成Ti_2AlN相.适当成分的沉积态涂层退火生成Ti_2AlN相所需的最低退火温度为650℃,其它沉积态涂层在700℃或更高温度下退火才能生成Ti_2AlN相;退火过程中可能发生的化学反应为:AlTi_3N 5Al→TiN 2Al_3Ti和AlTi_3N 3Al→Ti_2AlN Al_3Ti.此外,延长退火时间可使相同工艺下的沉积涂层生成的Ti_2AlN相含量略有增加...

• 出版日期2010
• 单位中国科学院金属研究所