基于MEMS技术新型湿度传感器的研制

作者：吴大军; 唐祺; 杨姗姗; 温殿忠

来源：微纳电子技术, 2013, (09): 570-575.

• 微电子机械系统(MEMS)
• 聚酰亚胺(PI)
• 湿度传感器
• COMS工艺
• 灵敏度 micro-electromechanical system(MEMS)
• polyimide(PI)
• humidity sensor
• CMOS process
• sensitivity

描述了新型金属-Al2O3-PI-金属电容式湿度传感器的结构及工作原理,利采用Matlab软件模拟了介电常数和湿度的关系,采用MEMS技术制造了新型湿度传感器,设计了测试方案,测量和分析了该新型湿度传感器的灵敏度特性和迟滞特性,分析了测试数据产生偏差的原因。测试结果显示,湿度传感器的灵敏度为单位湿度变化8 pF,湿度低于RH80%,线性度非常好。湿度传感器的迟滞特性良好,在RH70%时,迟滞差最大约为RH3%。分析结果表明,该湿度传感器结构合理,工艺成功,重点解决了该传感器的涂覆聚酰亚胺后蒸铝工艺与CMOS标准工艺兼容问题。为利用CMOS标准工艺进行集成MEMS湿度传感器的研制做出了有益的尝试...

• 出版日期2013
• 单位黑龙江大学