AZO与ITO薄膜电磁散射特性对比试验研究

作者:刘战合; 王晓璐; 王菁; 姬金祖; 周鹏; 赵辉
来源:真空科学与技术学报, 2018, 38(04): 313-319.
DOI:10.13922/j.cnki.cjovst.2018.04.10

摘要

基于非平衡磁控溅射技术在浮法玻璃表面沉积了系列掺铝氧化锌(AZO)和氧化铟锡(ITO)薄膜,从电磁隐身角度出发,确定了两种薄膜的电磁散射测试方法和分析方法,并测试了10、15 GHz的HH、VV的极化雷达散射截面(RCS)曲线,以试验数据为基础,研究了方块电阻对两种薄膜电磁散射的影响特性。试验结果表明,AZO与ITO散射曲线具有相似性,AZO散射曲线震荡性更明显;两种薄膜RCS增益随着方块电阻的增大而变小,AZO和ITO的RCS增益曲线均震荡性降低;方块电阻合适时,两种薄膜均可实现座舱玻璃隐身。

全文