一种薄膜晶体管以及制备方法

作者：徐苗; 李民; 周雷; 徐华; 李洪濛; 庞佳威; 彭俊彪; 王磊; 邹建华; 陶洪

来源：2021-06-04, 中国, CN202110625920.2.

本发明公开了一种薄膜晶体管以及制备方法。该薄膜晶体管包括：衬底；栅极；栅极绝缘层；有源层,有源层位于栅极绝缘层背离栅极的表面,有源层包括源区、漏区以及沟道区；第一钝化层,第一钝化层位于有源层背离栅极绝缘层一侧的表面,第一钝化层设置有第一凹槽和第二凹槽,在平行于衬底的方向上,第一凹槽和第二凹槽邻近沟道区的侧壁与沟道区间隔第一预设距离,第一预设距离大于或等于0.3微米,且小于或等于3微米；漏极和源极位于第一钝化层背离有源层一侧的表面。本发明实施例提供的技术方案降低了薄膜晶体管中,有源层的沟道区的预设长度和实际长度之间的差距。

• 出版日期2021-6-4
• 单位华南理工大学