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摘要
文章介绍了一种用于工业设备的等离子体放电电源,给出了主电路、功率稳定电路的设计过程。电源主电路由功率场效应品体管构成的H桥式电路、串并联混合谐振电路、变压器阻抗变换电路组成。研制成的等离子体放电电源在太阳能电池生产线等离子体增强化学汽相沉积设备上满足使用要求,电源工作稳定可靠。
- 出版日期2008
- 单位中国电子科技集团公司第四十八研究所
文章介绍了一种用于工业设备的等离子体放电电源,给出了主电路、功率稳定电路的设计过程。电源主电路由功率场效应品体管构成的H桥式电路、串并联混合谐振电路、变压器阻抗变换电路组成。研制成的等离子体放电电源在太阳能电池生产线等离子体增强化学汽相沉积设备上满足使用要求,电源工作稳定可靠。
