利用VHF-PECVD分解硅烷和氢气的混合气体来制备本征微晶硅薄膜。运用拉曼散射和X射线衍射研究了不同硅烷浓度对薄膜的影响。随着硅烷浓度的增加,沉积速率和光敏性增加而晶化率下降。将优化的本征材料应用到pin电池中,得到本征层厚度约为1μm的微晶电池,效率达5.87%。