摘要

对高精度主轴径向回转误差的测量方法进行了研究,在分析了现有的误差分离方法基础上,提出了一种基于球标法的误差分离方法。结合玻璃半球与钢盘设计了新的标准器,采用轴向布置传感器的方法对其进行测量,建立数学模型以实现主轴回转误差与标准器形状误差的分离。利用LabVIEW虚拟仪器技术,搭建了整个测量系统,包括回转平台、数据采集装置、上位机测量软件。最后,对高精度主轴进行了实际测量,结果显示,该测量系统具有比较高的精度;将球标法与反向法进行对比,两者分离出的回转误差数值吻合,验证了球标法误差分离的可行性与准确性。