摘要

报道了410mm轻型熔石英反射镜的研制概况。首先分析了轻型反射镜对材料的要求,选择了熔石英作主反射镜材料。比较了熔石英反射镜轻量化技术途径的优缺点,选择了高温熔合物封接的技术方案,研究了封接材料和高温熔合物封接技术。开展了有限元结构分析,分析了支撑方式和若干参数对反射镜面形的影响,确定了合理的结构参数。应用上述研究结果研制出410mm轻型球面熔石英反射镜和350×248mm异型轻型平面熔石英反射镜。研究了高温150℃,低温-35℃对410mm轻型熔石英反射镜面形稳定性的影响,研究结果实际表明实验前后面形均方根变化ΔRMS<0.01λ(λ=632.8nm),说明面形和结构十分稳定。