超薄SnO2/Ga2O3/SnO2异质结构的原子尺度表征与热稳定性研究

作者:胡捷; 王佳恒; 李凯旋; 蒋仁辉; 赵立功; 张莹; 李雷; 赵培丽; 孟威威; 贾双凤; 郑赫*; 王建波*
来源:电子显微学报, 2022, 41(04): 399-406.
DOI:10.3969/j.issn.1000-6281.2022.04.006

摘要

本文通过化学气相沉积法制备出Ga2O3@SnO2核壳结构纳米线,利用透射电子显微技术得到Ga2O3和SnO2的取向关系:■,并在原子尺度解析了Ga2O3@SnO2异质结构的相界面;在SnO2壳层中发现了大量■面分布的反向畴结构,进一步在畴界处发现了具有三明治结构SnO2/Ga2O3/SnO2超薄异质结,其中Ga2O3层的厚度为0.3 nm;此外,超薄异质结在高温下表现出优异的稳定性。研究结果为超小尺寸异质结的制备与高温下的应用提供了重要参考。

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