以钛酸丁酯为前驱液,聚乙二醇2000为模板剂,采用溶胶 凝胶模板法在温和的条件下合成了纳米晶TiO2薄膜,并对其晶相、颗粒大小和表面形貌等进行了表征。结果表明,所制备的TiO2薄膜表面完整,无明显的裂纹,颗粒分布均匀,粒径和膜厚度保持在纳米级。电学性能测试表明,纳米晶TiO2薄膜在350℃具有p 型半导体特性,p 型TiO2半导体纳晶薄膜在新型气体传感器开发领域有着潜在的应用前景。
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