钇铝石榴石晶体化学机械抛光液成分优化研究

作者：张自力; 金洙吉^*; 慕卿; 杨辉鹏; 韩晓龙

来源：金刚石与磨料磨具工程, 2021, 41(02): 82-88.

DOI：10.13394/j.cnki.jgszz.2021.2.0014

• 钇铝石榴石(YAG)
• 正交试验
• 化学机械抛光
• 材料去除机理
• 化学反应

钇铝石榴石(YAG)晶体由于其优异的物理化学和光学性能,广泛用作激光器的激光增益介质。然而,目前的加工方法很难满足YAG晶体的高效高质量加工。基于传统硅溶胶抛光液的抛光机理,配制一种化学机械抛光液,并通过正交试验优化化学机械抛光液的成分配比。使用优化后的抛光液抛光YAG晶体,其化学机械抛光材料去除率提升至34 nm/min,抛光后YAG晶体表面粗糙度为0.5 nm。相比于传统硅溶胶抛光液,新型抛光液的抛光效率提升240%,抛光工件的表面粗糙度降低17%。同时,通过对比抛光液性能提出化学机械抛光界面的相互作用模式对材料去除率的影响原因。

• 出版日期2021
• 单位大连理工大学