HgCdTe微台面红外焦平面技术研究

作者：朱西安; 孙浩; 王成刚; 胡小燕; 刘明

来源：激光与红外, 2005, (11): 31-33.

• HgCdTe
• 微台面结构
• 干法刻蚀
• 侧向钝化 HgCdTe
• micro-mesa
• dry-etching
• side-wall passivation

文章报导了采用液相外延(LPE)生长P型材料、B离子注入成结、全干法深台面刻蚀、深台面侧向钝化及电极引出技术制备出中波320×256HgCdTe微台面阵列结构,其相元中心距为30μm,截止波长为5.0μm。

• 出版日期2005
• 单位华北光电技术研究所