摘要

本文分别以Y2O3、CaO、Dy2O3、Nd2O2与Sm2O3为助烧剂,利用微波烧结法制备了AlN陶瓷,并分析了助烧剂添加量对陶瓷样品微结构的影响。研究结果发现,当以Y2O3为助烧剂时所得陶瓷几近完全致密,且其添加量对陶瓷晶粒与晶界的形态有较大影响;当以CaO为助烧剂时,添加量较小时所得陶瓷中孔洞也很少,添加量较大时会在陶瓷中出现大孔洞;当以Dy2O3与Nd2O2为助烧剂时所得陶瓷相当致密且没有孔洞存在;当以Sm2O3为助烧剂时,添加量较小时陶瓷相当致密且没有孔洞存在,而添加量较大时会出现少量孔洞;其中以Nd2O2与Sm2O3为助烧剂时会有穿晶现象发生。