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分子束外延技术中的真空问题
作者:张景钦; 周增圻; 梁基本
来源:
真空
, 1983, (02): 34-39.
分子束外延技术
升华泵
氟橡胶
高真空机组
真空室
真空排气系统
单晶薄膜
离子泵
出版日期
1983
单位
中国科学院半导体研究所
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