微电子及纳米技术的发展 ,对纳米、亚微米尺寸计量及仪器的量值溯源的要求越来越高。文中就建立这一量值溯源体系进行探讨 ,包括 :样板的研制、测量及比对、由仪器和测量方法引起差异的分析等 ,表明了建立纳米、亚微米尺寸计量量值溯源体系的重要性
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