一种基于差压法的吸气剂吸气性能测试集成装置

作者:王旭迪; 王蓝陵; 梅正卫; 常仁超; 尉伟; 张殿伟; 谢晶
来源:2021-05-24, 中国, CN202110566941.1.

摘要

本发明介绍了一种基于差压法的吸气剂吸气性能测试集成装置,是与玻璃-硅漏孔相结合的集成动态流导法和静态升压法的测试吸气剂吸气性能的新装置,使吸气剂吸气性能测试具有精确度高、效率高、简便易行的特点。本发明装置包括:真空腔室、真空计、RGA、真空泵组、玻璃-硅漏孔、充气装置、真空阀门、真空管路,真空泵组抽气使整个系统初始压力低于10~(-5)Pa,充气装置通过玻璃-硅漏孔对系统充气,分子流状态下,气体流经玻璃-硅漏孔时流导保持不变,通过控制进气压力来控制进气流量,吸气室设置吸气剂加热激活装置,激活后的吸气剂吸附装置中的气体引起内部压力变化,记录装置中压力变化,从而计算出吸气剂吸附容量和抽气速率等性能参数。