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分子动力学模拟不同入射能量的SiF_2与SiC的相互作用

作者：赵成利; 秦尤敏; 吕晓丹; 宁建平; 贺平逆; 苟富均
来源：真空科学与技术学报, 2011, 376-380.
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更新时间：2018-08-03 08:05