科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
<正>图2为采用GFS法沉积出AZO膜的XRD图,其中,Ar流量为3000 sccm,总气体压强为50 Pa,O2流量为1050 sccm。沉积在未加热衬底玻璃上的AZO薄膜厚度在500600nm范围内;当衬底加热到200℃,AZO薄膜的厚度在250350 nm范围内。当O2流量大于20 sccm时,沉积出AZO膜的XRD图上清晰地出现了一个(001)取向的Zn O峰;而O2流量为10 sccm时,在未加热衬底上沉积出AZO膜的XRD图上有小的Zn O及Zn峰;另一方面,在
- 出版日期2014
- 单位中国科学院
