高功率激光系统金属表面颗粒污染物负压吸取采样方法研究

作者：王春勇; 李丹明; 叶自煜; 贾连军

来源：真空科学与技术学报, 2012, (11): 1038-1041.

• 高功率激光系统
• 光滑金属表面
• 颗粒污染物采样
• 负压采样法 High power laser system
• Surface of smooth metal
• Sampling contaminants particles
• Micro-vacuum sampling

针对高功率激光系统中光滑金属表面颗粒污染物采样与分析的要求,提出了一种用负压吸取的方式采集金属表面颗粒污染物的方法。通过理论计算分析了负压吸取法的可行性,设计了采样效率评估试验,试验结果表明该方法对于高功率激光系统中光滑金属表面颗粒物的采样具有很好的适用性。

• 出版日期2012
• 单位兰州空间技术物理研究所