纳米晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析

作者：陈城钊; 邱胜桦; 刘翠青; 吴燕丹; 李平; 余楚迎; 林璇英

来源：Acta Physica Sinica, 2009, 58(04): 2565-2571.

DOI：10.3321/j.issn:1000-3290.2009.04.067

• 氢化纳米晶硅薄膜
• 红外透射谱
• 氢含量
• 硅氢键合模式 hydrogenated nanocrystalline silicon films
• Fourier transform infrared spectra
• hydrogen content
• silicon-hydrogen bonding configuration

采用传统射频等离子体化学气相沉积技术在100—350℃的衬底温度下高速沉积氢化硅薄膜.傅里叶变换红外光谱和Raman谱的研究表明,纳米晶硅薄膜中的氢含量和硅氢键合模式与薄膜的晶化特性有密切关系,当薄膜从非晶相向晶相转变时,氢的含量减少了一半以上,硅氢键合模式以SiH2为主.随着衬底温度的升高和晶化率的增加,纳米晶硅薄膜中氢的含量以及其结构因子逐渐减少.

• 出版日期2009
• 单位韩山师范学院; 汕头大学