因FAB1 S3 VOC系统老化严重，TO炉故障频次居高不下，现场都需要人工手动操作设备启停，运营成本大、运行维护操作繁杂琐碎、系统维修成本较高等缺点。本文结合中芯厂区内的VOC系统老化汰换改造项目，通过采用一键启动，对原有的VOC设施进行了汰换升级改造。实践证明：投入运行半年来，系统运行平稳，运营成本等相关数据都有明显的大幅下降，最终实现24小时全天运行，VOC环保在线监测设备排放数据均达到环保局所要求排放大气标准内。
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