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Deep etching of polyimide by O2-based reactive ion etching (RIE)
作者：Qian, Jianguo; Zhang, Jiliang; Zhang, Mingsheng; Guo, Xiaoyun; Mao, Haiping; Ni, Zhiping
来源：
Microfabrication Technology
, 2000, (3): 29-34.
出版日期
2000
单位
上海交通大学
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