多层膜Laue透镜对10keV硬X射线聚焦性能的理论计算

作者：成丽华; 李浩川; 岳帅鹏

来源：光学仪器, 2015, (06): 535-540.

• X射线
• 多层膜Laue透镜
• 衍射动力学
• 衍射效率
• 高级次 X-ray
• multilayer Laue lens
• dynamical diffraction theory
• diffraction efficiency
• high order

采用NbC/Si材料组合设计多层膜Laue透镜,总膜厚为40μm,利用衍射动力学理论分析多层膜Laue透镜对硬X射线的衍射效率及聚焦分辨率。通过两种方法提高多层膜Laue透镜的分辨率。第一种方式是减小膜层的最外层宽度,该方法要求结构必须是楔型结构,制备极其困难。第二种方法是使用多层膜Laue透镜的高级次,该方法在不增加制备难题的前提下能有效提高分辨率。通过使用多层膜Laue透镜的-3级次,对10keV硬X射线获得了分辨率为6.72nm,衍射效率为49.31%的聚焦光斑。

• 出版日期2015
• 单位同济大学