登录
免费注册
首页
论文
论文详情
赞
收藏
引用
分享
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
Modeling and experimental analysis on the nonlinearity of single crystal silicon cantilevered microstructures
作者:Jiang Yonggang
*
; Esashi Masayoshi; Ono Takahito
来源:
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
, 2011, 131(5): 195-196.
DOI:10.1541/ieejsmas.131.195
Experimental analysis
Micro-cantilevers
Modeling method
Non-linear parameters
Non-Linearity
Non-linearity parameter
Nonlinear behavior
Nonlinearity analysis
Single crystal silicon
Softening-spring effect
出版日期
2011--
全文
全文
访问全文
相似论文
引用论文
参考文献