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摘要
受工作环境和时间的影响射频负载阻抗在工作时是不断变化的,影响射频源的输出功率和工作效率。因此,需要在射频源和负载之间构造匹配网络,并且能够实时跟踪负载阻抗的变化,对匹配网络元件的参数做出相应调整,使射频源能够实现最大功率输出。根据射频源负载变化特点选择Γ型匹配网络,利用Smith圆图的变化规律控制匹配网络可调元件变化的约束规律。实现方式是由罗氏线圈和电容分压器检测传输线上的电流和电压信号,输入AD8302幅相检测电路得到信号幅度比和相位差;经过模数转换输入STM32;根据Smith圆图的阻抗和导纳的变化特点,采用PID算法控制步进电机的转角和转向,由此形成全新的闭环控制系统。由实验和仿真结果可知,此种匹配方法能够使电路在5 s内实现快速匹配,并且使误差控制在3°以内。
- 出版日期2017
- 单位商丘职业技术学院
