DJG新型高精度电荷积分仪

作者：陈毅功; 周怡亲

来源：微细加工技术, 1987, Z2: 27-36.

• 积分仪
• DJG
• 离子注入机
• 参数分析
• 电荷量
• 抗干扰措施
• 性能指标
• 转换电路
• 运算放大器
• 工作原理

本文叙述了在400keV高能离子注入机和600keV高能离子注入机中使用的最新研制的DJG高精度电荷积分仪。阐述了该仪器的工作原理、技术特点和抗干扰措施。给出了参数分析模型、实测性能指标和原始数据。

• 出版日期1987
• 单位中国电子科技集团公司第四十八研究所