SOI基PLC型阵列波导光栅与可调光衰减器单片集成

作者：袁配; 吴远大; 王玥; 安俊明; 胡雄伟

来源：半导体光电, 2016, 37(04): 477-481.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2016.04.005

• 阵列波导光栅
• 可调光衰减器
• 波分复用
• 绝缘体上硅
• 平面光波回路

制作了基于绝缘体上硅(Silicon on Insulator,SOI)材料的8×16通道的阵列波导光栅(Arrayed Waveguide Grating,AWG)与电吸收型可调光衰减器(Variable Optical Attenuator,VOA)的单片集成器件,其信道间隔为200GHz。该集成器件采用脊形波导结构,其截面尺寸为亚微米级,整体尺寸为2.9mm×1mm。该VMUX器件的片上损耗为9.32410.048dB,串扰为6.58.2dB;在20dB衰减下,单通道最大功耗为87.98mW;最大信道偏振相关损耗(Polarization Dependent Loss,PDL)为0.461dB,16通道的衰减一致性为0.245dB。该器件能够实现良好的波分复用/解复用及信道功率均衡的功能。

• 出版日期2016
• 单位中国科学院半导体研究所; 集成光电子学国家重点实验室