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电子回旋共振微波等离子体及其在材料科学中的应用
作者:施昌勇
来源:
现代物理知识
, 2003, (04): 35-38.
微波等离子体
电子回旋共振
中性粒子
能量分布
离子能量
外延生长
离子密度
碰撞频率
离子束沉积
回旋频率
出版日期
2003
单位
北京服装学院
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