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摘要
本文报道一种测量标准具间距的方法,其误差为λ/60.用波长连续可调的染料激光器的输出射到标准具上,借助于列阵探测元件和计算机组成的OMA系统可从干涉图形中精确测定对应波长的中心小数,在此基础上发展了剩余小数处理数据的方法,利用至少四个不同的波长可得到干涉级数的绝对值和标准具的厚度.进一步用数据拟合法可得到镀层反射相位的相对色散曲线.
- 出版日期1986
- 单位中国科学院上海光学精密机械研究所
本文报道一种测量标准具间距的方法,其误差为λ/60.用波长连续可调的染料激光器的输出射到标准具上,借助于列阵探测元件和计算机组成的OMA系统可从干涉图形中精确测定对应波长的中心小数,在此基础上发展了剩余小数处理数据的方法,利用至少四个不同的波长可得到干涉级数的绝对值和标准具的厚度.进一步用数据拟合法可得到镀层反射相位的相对色散曲线.
