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摘要
在传统式的以绝缘体上硅即SOI为基底的MEMS接触式开关基础上进行模型的设计及优化。利用SolidWorks三维建模软件建立MEMS开关悬臂梁和质量块的三维模型,以SolidWorks Simulation仿真软件对悬臂梁进行有限元分析,网格的划分、载荷分析、应力分析以及位移分析并进行二次优化设计从而达到最佳方案。最终选择六边形的多孔质量块作为配重,选取扭梁结构作为梁最终结构,使梁在受到相同的惯性力的作用下应力更小、体积更小、灵敏度更高。最终提高MEMS开关的可靠性与灵敏度。
- 出版日期2013
- 单位中北大学
