电子束蒸发沉积碲锗铅薄膜的微结构和化学组分研究

作者：谢平; 李斌; 刘定权; 张素英

来源：光学仪器, 2010, (06): 66-69.

• 碲锗铅(Pb_(1-x)Ge_xTe)
• 电子束蒸发
• 光学薄膜
• 微结构
• 化学组分 lead-germanium-telluride
• electron beam evaporation
• thin-film
• microstructure
• stoichiometry

为了探寻碲锗铅(Pb_(1-x)Ge_xTe)薄膜的最佳沉积方式,在硅基片上采用电子束蒸发沉积碲锗铅(Pb_(0.78)Ge_(0.22)Te)薄膜。使用X射线衍射(XRD)、电子扫描显微镜(SEM)、能量散射X射线分析(EDAX)等手段对薄膜的微结构和化学配比特性进行了分析。发现碲锗铅薄膜为多晶结构,具有明显的择优取向,晶粒多为矩形,薄膜中未出现其它相关氧化物。与热蒸发膜层相比,电子束蒸发沉积的膜层有更为完善的晶体结构。

• 出版日期2010
• 单位中国科学院上海技术物理研究所