第三组元氮元素对TaMo高温合金涂层组织和性能的影响

作者：季鑫; 宓一鸣; 张朝民; 周细应; 赵新新; 言智; 周有余

来源：材料导报, 2011, (22): 70-73.

• TaMo涂层
• 基底温度
• 腐蚀
• 表面形貌 TaMo coating,substrate temperature,corrosion,surface morphology

通过磁控溅射法在硅基材上制备了不同基底温度的TaMo和TaMoN涂层,采用原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)研究了在第三组元N加入的情况下TaMo涂层的表面形貌和组织结构,采用CHI电化学分析仪分析了涂层的耐腐蚀性能,并分别对涂层进行了1000℃+300h高温氧化性能试验。实验结果表明,两种基底温度工艺下氮元素的加入对TaMo涂层的组织结构和表面形貌均有显著影响。另外,氮元素的加入可以提高TaMo涂层的耐腐蚀性能,但对TaMo涂层的耐高温性能没有改善。

• 出版日期2011
• 单位上海工程技术大学