低能离子束方法制备磁性Fe-Si合金薄膜

作者：刘力锋; 陈诺夫; 张富强; 陈晨龙; 李艳丽; 杨少延; 刘志凯

来源：功能材料, 2004, (04): 429-431.

• 低能离子束
• 硅
• 铁磁性
• 磁性半导体 low energy ion beam
• silicon
• ferromagnetism
• magnetic semiconductor

　利用质量分离的低能离子束技术,获得了磁性Fe Si合金薄膜。利用俄歇电子能谱法(AES)、X射线衍射法(XRD)以及交变梯度样品磁强计(AGM)测试了样品的组分、结构以及磁特性。测试结果表明在室温下制备的Fe Si合金是Fe组分渐变的非晶薄膜,具有室温铁磁性。当衬底温度为300℃时制备的非晶Fe Si薄膜中有Fe硅化物FeSi相产生,样品的铁磁性被抑制。

• 出版日期2004
• 单位中国科学院力学研究所; 中国科学院半导体研究所