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摘要
研制烷类特种气体分析专用的多维气相色谱仪，特制的热导检测器，具有手动－自动功能。设计了输气－配气装置和多维气相色谱流程。以微机控制，可按编辑程序清洗系统，检查本底，自动进样，显示或打印谱图和分析结果。可检测多种烷类特种气体组份及其中氧、氮、一氧化碳和甲烷等痕量杂质。烷类特种气体组分的检测范围：ＳｉＨ４、ＣＨ４为０％～２０％Ｂ２Ｈ６、ＰＨ３为０％～２％，最小检测浓度分别为（×１０－４％（Ｖ／Ｖ））：Ｏ２１．０，Ｎ２１．５，Ｂ２Ｈ６５０，ＰＨ３５，ＳｉＨ４５，ＣＨ４１．５。该仪器可作为在线分析仪。已在非晶硅太阳能电池试线中使用多年。
- 出版日期1997
- 单位北京有色金属研究总院
